(單選題)傳統(tǒng)的光刻技術(shù)中，鏡頭與光刻膠之間的介質(zhì)是空氣，而浸入式技術(shù)是將空氣介質(zhì)換成液體，得到合適波長的光，以提高成像分辨率，以下說法錯(cuò)誤的是：

A.液體局部溫度起伏會(huì)引起成像質(zhì)量惡化

B.為了減少液體對(duì)光線的吸收，液層厚度不能太大

C.以純水為介質(zhì)時(shí)，可以選取任意波長紫外光為光源

D.可以注入高折射率的液體以得到更高頻率的光，提高成像分辨率

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正確答案：C

解析

第一步，本題考查科技常識(shí)并選錯(cuò)誤項(xiàng)。

第二步，水作溶劑時(shí)，最低波長極限是210nm，所以一般吸收都在遠(yuǎn)紫外區(qū)，因此以純水為介質(zhì)時(shí)，不能夠選取任意波長紫外光為光源。C項(xiàng)錯(cuò)誤，當(dāng)選。

因此，選擇C選項(xiàng)。

拓展

A項(xiàng)：液體局部溫度起伏會(huì)引起成像質(zhì)量惡化這是因?yàn)闊嶙冃味�產(chǎn)生的與電阻應(yīng)變測(cè)量方法相同大小的熱誘導(dǎo)測(cè)量誤差，極大地降低了高精度測(cè)量的精度。A項(xiàng)正確。

B項(xiàng)：有色溶液對(duì)光的吸收程度，與該溶液的濃度、液層的厚度以及入射光的強(qiáng)度等因素有關(guān)。如果保持入射光的強(qiáng)度不變，則光吸收程度與溶液的濃度和液層的厚度有關(guān)。為了減少液體對(duì)光線的吸收，液層厚度不能太大。B項(xiàng)正確。

D項(xiàng)：根據(jù)浸沒式光刻的原理，浸沒式光刻技術(shù)需要在光刻機(jī)投影物鏡最后一個(gè)透鏡的下表面與硅片上的光刻膠之間充滿高折射率的液體。圖1為傳統(tǒng)光刻和浸沒式光刻的對(duì)比示意圖。投影物鏡的數(shù)值孔徑：NA=nsinθ

圖1 傳統(tǒng)光刻和浸沒式光刻示意圖

其中，n為投影物鏡與硅片之間介質(zhì)的折射率，θ為光線最大入射角。在最大入射角相同的情況下，浸沒式光刻系統(tǒng)的數(shù)值孔徑比傳統(tǒng)光刻系統(tǒng)增大了n倍。而從傅里葉光學(xué)的角度， 數(shù)值孔徑扮演著空間頻率低通濾波器閾值的角色。注入高折射率的浸沒液體可以使更高空間頻率的光波入射到光刻膠上，因此成像分辨率得以提高。D項(xiàng)正確。

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